Imec은 local Al 후면전계(back surface field, BSF)와 전면 접촉을 위한 Ni/Cu 도금을 형성하기 위해 ALD(atomic layer deposited) 증착된 얇은 Al2O3으로 부터 레이저 도핑에 기반한 p형Cz-Si 위에 156×156 mm2 크기의 iPERC 태양전지를 개발했다.
이 셀은 평균 20.2%의 효율 보였다.
새로운 레이저 도핑 공정 시퀀스는 local i-PERC 태양전지에서 BSF 소성 공정을 없애는데 전면 접촉을 위한 Ni/Cu 도금 시퀀스와 결합해서 i-PERC 셀을 위한 저온 금속화에 대한 해법을 제시한다.
고온 공정을 피함으로써 후면 Al2O3 층의 패시베이션 저하 뿐아니라 후면 유전체/금속 층의 광학적 저하가 방지된다.
성능적인 이득에 더해서 새로운 공정 시퀀스는 매우 단순한데 그 이유는 얇은 ALD Al2O3가 동시에 패시베이션 층과 도핑 소스 역할을 하고 레이저 공정은 한번에 접촉 패터닝과 국소 BSF 형성을 가능하게 하기 때문이다.
단지 낮은 온도에서 어닐링 했는데도 셀의 80% 이상의 FF는 훌륭한 접촉을 암시한다.
그들은 산업에너 새로운 기술을 채용하기 위해 가격 경쟁력과 공정 단순화가 핵심 요소라고 말한다.
참고: http://www.photonicsonline.com/doc/imec-simplifies-i-perc-solar-cell-processing-by-implementing-laser-0001
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